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半导体制造工艺之离子注入

离子是原子或分子经过离子化后形成的,即等离子体,它带有一定量的电荷。可通过电场对离子进行加速,利用磁场使其运动方向改变,这样就可以控制离子以一定的能量进入wafer内部达到掺杂的目的。

半导体探测器介绍

电离辐射探测物理学中的半导体探测器是一种使用半导体(通常是硅或锗)来测量入射带电粒子或光子影响的辐射探测器。半导体探测器发现较晚,1949年麦凯(K.G.McKay)首次用α 射线照射PN结二极管观察到输出信号。50年代初由于晶体管问世后,晶体管电子学的发展促进了半导体技术的发展。半导体探测器在辐射防护、伽马和X射线光谱以及粒子探测器方面有着广泛的应用。

核辐射的基本性质

核辐射是指涉及原子或原子核的过程,如各种核的跃迁过程中,从原子核中释放出来的辐射,包括γ辐射、中子辐射、α和β辐射等。习惯上将他们归纳为如下四大类: