半导体制造工艺之离子注入

离子是原子或分子经过离子化后形成的,即等离子体,它带有一定量的电荷。可通过电场对离子进行加速,利用磁场使其运动方向改变,这样就可以控制离子以一定的能量进入wafer内部达到掺杂的目的。